APS150/APS200晶圓探針臺:
·載物臺尺寸:4英寸、6英寸、8英寸可供選擇
·載物臺位移:
快速移動(APS150/APS200):150 X 150mm/200 X 200mm
精密調整(APS150/APS200):150 X 150mm/200 X 200mm
·樣品臺旋轉角:0~30度(可選精密調整)
·載物臺上/下范圍:5mn
·真空吸盤:不銹鋼(可選加熱吸盤)
·漏電流低于300fA
·顯微鏡臺位移:25mm X 25mm
·顯微鏡放大倍率:30-2000倍(可由客戶指定)
·探針座數量:2-6個
·探針座XY位移:11mm、12mm、25mm可選
·探針座Z位移:8mm、11mm、12mm、16mm可選
·尺寸:(W/D/H)
APS150:580mm X 460mm X 700mm
APS200:660mm X 660mm X 700mm
·重量(APS150/APS200):60kg/80kg
可選配件:
1)低電流、低電容探針/電纜
2)RF探針/電纜
3)不同工作距離和放大倍率光學顯微鏡
4)變溫探針臺
5)真空腔
6)環境腔
同時我們可以根據您的具體需求提供比的客制化產品。







