優勢:
◆方便舒適的操作
◆快速的數據提取
◆多樣性測量方法,的交互式操作
◆2D形態下的微粗糙度值(表面粗糙及缺陷)
◆特定區域內,具方向性的粗糙度值(組織,紋理分析)
◆2D,3D以及深度剖面的形貌描述
應用范圍:
◆光滑面,粗糙面,曲面的表面粗糙度分析
◆大尺寸計算,微幾何形態描述,及平坦度控制
◆表面控制,例如:滾筒模
◆應用領域包括:研發,品質生產控制,驗收檢驗,及損壞分析
技術規格:
傳感器:彩色共焦
測量頻率:100HZ/300HZ(1kHZ)
測量范圍Z:300mm/1mm/2mm
行程XY:60mmⅹ60mm
解析度Z:12nm/25nm/75nm
速率:0.1bis 10mm/s
側向解析度:1.55mm/2mm/4mm
平臺尺寸:165ⅹ165mm
測量長度:11mm/12.7mm/16.4mm
電腦,軟件,顯示器:LCD 17〞






