- 產品品牌:
- aerotech
- 產品型號:
- Xa-1B
- 測量范圍:
- 進口壓力2MPa出口壓力0-0.99 MPa
- 用途:
- 其它
- 結構:
- 單級式
- 適用介質:
- 毒性,腐蝕性,易燃易爆氣體,超高純氣體
- 環境溫度:
- -10~70 ℃
Xa系列氣體減壓器,主要適用于各種流量輸出,可選擇內部電解拋光面,采用硬密封從而減少外漏情況,特別適用于毒性,腐蝕性,易燃易爆氣體以及超高純氣體。減壓器設計為半導體制造氣體專用減壓器。在嚴格的工程品質管理下,于超凈環境下制造。外漏率低于:1×10-11Pa.M3/Sec.He,內漏率低于:1×10-12Pa.M3/Sec.He







