美國(guó)MKS1179A氣體質(zhì)量流量計(jì)MKS1479A質(zhì)量流量計(jì)MKS2179A質(zhì)量流量計(jì)MKS1559A質(zhì)量流量計(jì)

美國(guó)MKS1179A質(zhì)量流量控制器（通用型）
1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，1179A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1179能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 100% 的全量程。
測(cè)量：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.

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美國(guó)MKS 2179A質(zhì)量流量控制器（帶截止閥）

 

2179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，它帶有一個(gè)關(guān)閉閥，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。

常閉的氣密關(guān)閉閥門(mén)正向關(guān)閉時(shí)的泄漏量?jī)H為4 x 10^-9 scc/sec（He）。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其為全量程的1％和讀數(shù)的1％。2179A具有很小的功耗：在常規(guī)直流±15V供電工作時(shí)，單元電流僅有100mA（在初開(kāi)機(jī)階段為200mA）。

 

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