ASM142 氦質譜檢漏儀是法國ALCATEL 公司新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質譜檢漏儀器。可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。該檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。符合美國真空標準AVS2.1 以及國際標準ISO3530 的標準。內置式標準漏孔，帶自動溫度補償系統。開機5 分鐘后完成全部準備工作，可以開檢。數顯工作界面；數字顯示漏率，帶音頻報警。所有工作參數可以通過菜單設定和修改。可以設置報廢點。質譜室自動保護：防止大氣突然沖入。

技術規格:

靈敏度： 5.0×10^-12 mbar.l/s

漏率顯示范圍： 2 ×10^-12 ~1 ×10^-1 mbar.l/s (He)

達到檢漏的時間（空盒時）：小于30 秒

發射電流顯示： 0.2—2mA

檢漏口對氦氣的抽速： 1.3 升/秒

啟動時間：小于5 分鐘

接口尺寸: DN 25 KF

外觀尺寸： 510×343×428mm

重量： 56Kg

電源：

220V 50Hz 單相

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